HETEROGENEITY OF TAPES GOT BY METHOD OF THERMAL EVAPORATION AND METHODS OF THEIR REMOVAL

Автор(и)

  • Олександр Йосипович Дідоборець Дніпровський державний аграрно-економічний університет
  • Олександр Миколайович Клєцков Дніпровський державний аграрно-економічний університет
  • Віталій Іванович Цоцко Дніпровський державний аграрно-економічний університет

DOI:

https://doi.org/10.31319/2519-8106.2(43)2020.219345

Ключові слова:

superficial source, speed of besieging, vaporizer, lining

Анотація

The considered problem of heterogeneities of the got semiconductor tapes and worked out methods of their removal are within the framework of the experimental setting of VCC-5M. Experimentally tested the got methods of removal of heterogeneities of товщин.

Посилання

Maisell, L., Gleng, R. (1977). Tekhnolohiia tonkikh plienok: spravochnik [Technology of thin-films : reference book] (Vols.1). Moskva: Soveight radio. [in Russian].

Shyju, T.S., & Anandhi, S., & Indirajith R. (2011). Solvothermal synthesis deposition and characterization of cadmium selenide (CdSe) thin films by thermal evaporation technique. Journal Crystal Growth. Netherlands, Volume. 337, P. 38–45. [in English].

Rahimov, N.R., & Dzhurakhalov, A.A.(2002). Investigation of APV-CdTe-films and development of optoelectronicdevices on their basis. The European material research conference EMRS 2002 Spring meeting. Strasbourg, P. 242. [in English].

Pathel, K.D.,& R.K., Shan, & D.L. Makhija Chemical and structural characterization of CdSe thin films. Journal Ovonic Research.Romania, V.4, № 61, P.129–139. [in English].

Rakhimov, N.R., & Ushakov, O. K. (2010). Optoelektronnie datchiki na osnove AFN-effekta [Optronic sensors on the basis of APV of effect]. Novosibirsk [in Russian].

Технология тонких пленок: справочник / Под ред. Л. Майселла, Р. Глэнга. Москва.: Сов. радио, 1977. Т.1. 662 с.

Shyju T.S., Anandhi S., Indirajith R. Solvothermal synthesis deposition and characterization of cadmium selenide (CdSe) thin films by thermal evaporation technique. Journal Crystal Growth. Netherlands, 2011. Volume. 337. P. 38–45.

Rahimov N.R., Dzhurakhalov A.A.. Investigation of APV-CdTe-films and development of optoelectronicdevices on their basis. The European material research conference EMRS 2002 Spring meeting. Strasbourg, 2002 P. 242.

Pathel K.D., R.K. Shan, D.L. Makhija Chemical and structural characterization of CdSe thin films. Journal Ovonic Research.Romania. 2008. V. 4, № 61. P. 129–139.

Рахимов Н.Р., Ушаков О.К. Оптоэлектронные датчики на основе АФН-эффекта. Новоси-бирск, 2010. 218 с.

##submission.downloads##

Опубліковано

2020-11-26

Номер

Розділ

Статті